積層型圧電素子をアクチュエータとした６自由度微動機構
6 DOF fine motion mechanism based on parallel kinematics
本研究では次のような特徴を有する精密運動機構を提案しています．
- 各方向からの荷重・モーメントに対する剛性が均一．
- 各方向への位置決め分解能が等方的でかつ最小．
- ステージでの発生力・トルクが各方向で均一．
- ステージの運動方向は６自由度とする．
実験装置
上の写真は本研究室で製作した，圧電素子をアクチュエータとした６自由度精密微動ステージです．
6-degree-of-freedom fine motion stage with piezoelectric actuators.
参考文献
（新しいものから並べてあります）
投稿論文
口答発表
大岩 孝彰，大多和 毅，松田 孝
パラレルメカニズムを用いた６自由度精密運動機構
（第３報）―試作機と運動精度―
1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集，(1999)95.
大岩 孝彰，平野 正和，大多和 毅，松田 孝
パラレルメカニズムを用いた６自由度精密運動機構
（第２報）―リンク配置と剛性―
1998年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集，(1998)406.
大岩 孝彰，平野 正和，宮嶋 俊裕
パラレルメカニズムを用いた６自由度微動ステージ
―リンク配置の最適設計―
日本機械学会第74期通常総会講演会講演論文集，
大岩 孝彰，平野 正和，宮嶋 俊裕
パラレルメカニズムを用いた６自由度精密運動機構
―リンク配置の最適化設計―
1997年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集，1149-1150(1997).
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大岩 孝彰，大多和 毅