高剛性６自由度微動機構に関する研究

　多自由度を持つ微動機構において許容荷重と位置決め精度の両面で満足できるものは少ない．本研究では圧縮強度に優れたＰＺＴ素子を用いて，摺動部がなく無潤滑で追随性のよい高剛性微動ステージの開発を行っている．このような微動機構にはさまざまな用途が考えられるが，例えば粗動機構と組み合わせることにより，工作機械の持つ６自由度方向の運動誤差を補正した超精密加工システムなどが可能となる．

下の図は開発した多自由度微動機構の原理を示している．この方式ではステージ上の荷重は，圧縮強度に優れた積層型圧電素子にほとんどかかるため，許容積載荷重を大きく設定できる．また摺動部がないため，位置決め精度を向上できる．

大岩　孝彰　他３名：
圧電素子を用いた高剛性多自由度微動機構
精密工学会誌，60, 9(1994) 1355-1359．

大岩　孝彰　他２名：
圧電素子を用いた高剛性多自由度微動機構（第２報）
―６自由度への拡張―
精密工学会誌，62, 9(1996) ．

Takaaki OIWA et al. :
Development of precise rotating mechanism with fine motion stage
Proc. of Ninth world congress on the theory of machines and mechanisms
Politecnico di Milano, August 28-September 2, 1995

高剛性６自由度微動機構に関する研究

大岩 孝彰 他３名：圧電素子を用いた高剛性多自由度微動機構精密工学会誌，60, 9(1994) 1355-1359．

大岩 孝彰 他２名：圧電素子を用いた高剛性多自由度微動機構（第２報）―６自由度への拡張―精密工学会誌，62, 9(1996) ．

Takaaki OIWA et al. : Development of precise rotating mechanism with fine motion stageProc. of Ninth world congress on the theory of machines and mechanismsPolitecnico di Milano, August 28-September 2, 1995

大岩　孝彰　他３名：
圧電素子を用いた高剛性多自由度微動機構
精密工学会誌，60, 9(1994) 1355-1359．

大岩　孝彰　他２名：
圧電素子を用いた高剛性多自由度微動機構（第２報）
―６自由度への拡張―
精密工学会誌，62, 9(1996) ．

Takaaki OIWA et al. :
Development of precise rotating mechanism with fine motion stage
Proc. of Ninth world congress on the theory of machines and mechanisms
Politecnico di Milano, August 28-September 2, 1995