2018年度

原著論文

  1. T. Sanada, Y. Furuya, S. Muraki, M. Watanabe,
    "Observation of liquid infiltration process into closed-end holes by droplet train impingement"
    Journal of Fluid Science and Technology, 13(3), JFST0012 (2018). Link
  2. T. Sanada, E. Tokuda, F. Iwata, C. Takatoh, A. Fukunaga, H. Hiyama,
    "Measurement of Lateral Removal Force for a Baked Polymer Particle on a Glass Plate"
    Journal of Photopolymer Science and Technology, 31(3), 403-407 (2018). Link
  3. T. Sanada, M. Hanai, A. Fukunaga, H. Hiyama,
    "An Observation Method of Real Contact Area during PVA Brush Scrubbing"
    Solid State Phenomena, 282, 73-76 (2018). Link
  4. Y. Tatekura, M. Watanabe, K. Kobayashi, T. Sanada
    "Pressure generated at the instant of impact between a liquid droplet and solid surface"
    Royal Society Open Science, in press. Link

解説論文

  1. 真田俊之, 福永明，檜山浩國
    "PVAブラシによるスクラブ洗浄"
    混相流, 32(2), 223-230 (2018) Link

国際会議

  1. T. Sanada, H. Yamamoto
    Motion of a pair of slightly different size bubbles rising in line at intermediate Reynolds number
    8th European-Japanese Two-Phase Flow Group Meeting.
  2. T. Sanada
    Visualization of Real Contact Area Between PVA Brush and Contacting Surface Using Total Reflection Method
    22nd International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
  3. Sanada, T., Hanai, M., Fukunaga, A., Hiyama, H.
    An observation method of real contact area during PVA brush scrubbing
    14th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces
  4. H. Yamamoto, T. Sanada
    Interaction of a pair of slightly different size bubbles rising in-line
    15th Joint Symposium between Sister Universities in Mechanical Engineering (JSSUME2018)
  5. M. Hanai, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Verification of the friction mechanism between PVA brush and contacting surface using total reflection method
    15th Joint Symposium between Sister Universities in Mechanical Engineering (JSSUME2018)
  6. K. Yamada. T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Effects of temperature on torques and its temporal fluctuation generated during PVA brush rotation
    15th Joint Symposium between Sister Universities in Mechanical Engineering (JSSUME2018)
  7. Y. Furuya, T. Sanada
    Observation of liquid infiltration into a closed-end hole by acoustic wave irradiation
    15th Joint Symposium between Sister Universities in Mechanical Engineering (JSSUME2018)
  8. K. Yamada. T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Temperature effects on torques generated by a rotating PVA brush
    International Conference on Planarization/CMP Technology 2018 (ICPT2018)発表予定
  9. T. Sanada
    Potential repulsive force acting on a pair of slightly different size in-line bubbles at intermediate Reynolds number
    71st Annual Meeting of The APS Division of Fluid Dynaics発表予定

国内会議

  1. 真田俊之, 徳田絵夢，岩田太，高東智佳子，福永明，檜山浩國, Measurement of Lateral Removal Force for a Baked Polymer Particle on a Glass Plate（招待講演）， フォトポリマーコンファレンス.
  2. 山本洋也，真田俊之, 中間レイノルズ数における僅かな気泡径差を有する鉛直線上の２気泡の相互作用， 混相流シンポジウム2018.
  3. 古谷勇貴，真田俊之，渡部正夫， 音波照射による閉端円管内への液体侵入， 混相流シンポジウム2018.
  4. 楠野宏明，山口えり，真田俊之, 2気泡の反発挙動に関する実験的調査， 混相流シンポジウム2018.
  5. 花井正直，真田俊之，檜山浩國，福永明， 全反射光を用いたPVAブラシの真実接触面積の可視化， 第79回応用物理学会秋季学術講演会.
  6. 山本洋也，笠井雄真,真田俊之, 音波とスリット入り弾性管を用いた気泡生成への界面活性剤の影響， 日本機械学会第96期流体工学部門講演会. 発表予定
  7. 花井正直，真田俊之，檜山浩國，福永明， 全反射光を用いたPVAブラシと表面との接触面領域の可視化， 日本機械学会第96期流体工学部門講演会. 発表予定

その他

  1. T. Sanada, PVA brush scrubbing -effect of brush deformation on the friction-, The 1st Ebara Open Innovation International Symposium on CMP
  2. T. Sanada, PVA brush scrubbing -Effect of brush deformation and viscoelasticity on the friction, and its real contact area observation, 2018 CMP Forum Taiwan

2017年度

原著論文

  1. 村木駿介，山本翔也，真田俊之，渡部正夫
    "円形平板への液滴列衝突による形成液膜の観察"
    日本機械学会論文集，Vol. 83 (2017) No. 848 p. 17-47. Link
  2. Ito, M., Sanada, T., Fukunaga, A., Hiyama, H.
    "Brush Deformation Effects on Poly Vinyl Acetal Brush Scrubbing"
    ECS Journal of Solid State Science and Technology, 7(4), P201-P208 (2018). Link

国際会議

  1. Y. Tatekura, M. Watanabe, K. Kobayashi, T. Sanada
    Numerical simulation of pressure generated at the liquid droplet impact on a solid surface
    The 3rd International Conference on Numerical Methods in Multiphase Flows.
  2. T. Sanada
    In-line interaction of a pair of bubbles
    Workshop 'Transition, Control and Turbulence in Bubbly flow'
  3. T. Sanada
    Skin Layer Effect on a PVA Brush Friction
    21st International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
  4. M. Ito, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Torque measurements generated by a rotating PVA brush without a skin layer
    2017 International Conference on Planarization/CMP Technology (2017 ICPT)
  5. M. Hanai, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Observation of the real contact area between PVA brush and surface using polarization plate and evanescent field
    2017 International Conference on Planarization/CMP Technology (2017 ICPT)
  6. H. Yamamoto, T. Sanada
    Relative Motion of a Pair of Slightly Different Size Bubbles Rising in Line
    The Ninth JSME-KSME Thermal and Fluids Engineering Conference (TFEC9).
  7. E. Yamaguchi, T. Sanada
    Bouncing of a Pair of Clean Bubbles Rising Side by Side
    The Ninth JSME-KSME Thermal and Fluids Engineering Conference (TFEC9).
  8. S. Muraki, T. Sanada
    Impingement of a droplet train enhance the liquid infiltration into closed-end holes
    The Ninth JSME-KSME Thermal and Fluids Engineering Conference (TFEC9).
  9. T. Ashida, M. Watanabe, K. Kobayashi, H. Fujii, T. Sanada
    Observation of splash generated immediately after the impact of a high-speed droplet in reduced-pressure
    The Ninth JSME-KSME Thermal and Fluids Engineering Conference (TFEC9).
  10. S. Tanimoto, Y. Yamaguchi, M. Watanabe, K. Kobayashi, H. Fujii, T. Sanada
    Does Chemical Properties of Solid Surface Cause Liquid Film Flow Instability at Droplet Impact?
    The Ninth JSME-KSME Thermal and Fluids Engineering Conference (TFEC9).
  11. T. Sanada, S. Yamamoto
    Liquid film on a circular plate formed by a droplet train impingement
    70th Annual Meeting of The APS Division of Fluid Dynaics
  12. Y. Jinbo, T. Sanada, M. Watanabe, Yang-Yao Niu
    A Remark on Gas Flow During the Very Early Stage of Droplet Impact: Numerical Analysis of Gas Flow in a Suddenly Moving Corner
    The EMN Meeting on Droplets 2017

国内会議

  1. 山本洋也，真田俊之, 静止液体中における鉛直方向に並んで上昇する2気泡の平衡距離， 混相流シンポジウム2017.
  2. 村木駿介, 山本翔也，真田俊之, 円形平板への液滴列衝突における跳水直径， 混相流シンポジウム2017.
  3. 村木駿介，真田俊之, 液滴列衝突による微細孔への液体侵入促進効果， 混相流シンポジウム2017.
  4. 倉下将光，伊藤雅佳，福永明，真田俊之，高東智佳子, PVAスポンジ-固体材料間の摩擦特性の表面自由エネルギーによる評価， 精密工学会2018年度春季大会.
  5. 真田俊之，伊藤雅佳，檜山浩國，福永明, PVAブラシの機械的特性とヒステリシス摩擦， 日本機械学会関東支部第24期講演会.
  6. 真田俊之，村木駿介，溜池啓輝, 圧力振動による微細孔への液体侵入， 日本機械学会関東支部第24期講演会.
  7. 花井正直, 全反射光を用いたPVAブラシの摩擦メカニズムの検証， 界面ナノ電子化学研究会第３回ポスター展.

その他

  1. 真田俊之，分散性混相流の微細構造解明 – 洗浄液なしの洗浄技術確立に向けて –，浜松工業会静岡支部講演会
  2. 真田俊之，イブニングセミナー，混相流学会若手研究者夏季セミナー
  3. 真田俊之，シンポジウム趣旨説明，応用物理学会秋季講演会
  4. 真田研究室，「PVAブラシの洗浄メカニズム検証、微細パターンへの液体侵入特性」，総合洗浄展展示（ウォータージェット学会ブース）（11/29-12/1）
  5. 真田俊之，「微細孔への液体侵入特性〜液滴列衝突による侵入促進効果〜」，総合洗浄展ワークショップ

2016年度

原著論文

  1. 真田俊之，野崎紘史，渡部正夫
    "先端を封じた細管内での圧力による気体圧縮と溶解(微細構造への圧力による液体侵入特性)"
    日本機械学会論文集，(2016). Link
  2. K. Nishio, T. Sanada, S. Hamada, H. Hiyama, A. Fukunaga
    "Measurement of the frictional force between PVA roller brushes and semiconductor wafers with various films immersed in chemicals"
    Solid State Phenomena, Vol.255, 163-167 (2016). Link
  3. E. Tokuda, T. Sanada, F. Iwata, C. Takato, H. Hiyama, A. Fukunaga
    "Developments for physical cleaning sample with high adhesion force particles and direct measurement of its removal force"
    Solid State Phenomena, Vol.255, 201-206 (2016). Link
  4. 山口えり，真田俊之
    "液滴列の衝突による微細孔への液体侵入"
    混相流，30巻5号, 511-518 (2017). Link

国際会議

  1. T. Sanada, H. Kusuno
    Interaction of clean or contaminated spherical pair bubbles in quiescent liquids
    9th International Conference on Multiphase Flow (ICMF 2016).
  2. E. Yamaguchi, H. Nozaki, T. Sanada
    Liquid infiltration characteristics into closed end structures under the external pressure
    9th International Conference on Multiphase Flow (ICMF 2016).
  3. Y. Kasai, T. Sanada
    Generator for wide range of bubble size using acousitc pressure wave and elastic tube
    9th International Conference on Multiphase Flow (ICMF 2016).
  4. Y. Kataoka, Y. Hori, M. Watanabe, K. Kobayashi, H. Fujii, T. Sanada
    Observation of non-spharical droplet impacts with velocities of O(10 m/s)
    9th International Conference on Multiphase Flow (ICMF 2016).
  5. T. Isono, M. Watanabe, K. Kobayashi, H. Fujii, T. Sanada
    Effects of surrounding gas temperature on ethanol droplet impact on solid surface
    9th International Conference on Multiphase Flow (ICMF 2016).
  6. T. Sanada, K. Nishio, M. Ito, S. Hamada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    A Frictional Analysis of Various Types of PVA Brushes and an Attempt to the Direct Observation of its Contact Condition
    20th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
  7. E. Tokuda, T. Sanada, F. Iwata, C. Takato, H. Hiyama, A. Fukunaga
    Developments for physical cleaning sample with high adhesion force particles and direct measurement of its removal force
    13th International Symposium on ULTRA CLEAN PROCESSING of SEMICONDUCTOR SURFACES (UCPSS2016).
  8. K. Nishio, T. Sanada, S. Hamada, H. Hiyama, A. Fukunaga
    Measurement of the frictional force between PVA roller brushes and semiconductor wafers with various films immersed in chemicals
    13th International Symposium on ULTRA CLEAN PROCESSING of SEMICONDUCTOR SURFACES (UCPSS2016).
  9. M. Ito, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Mechanical and frictional properties of PVA Brushes without skin layer
    2016 International Conference on Planarization/CMP Technology (2016 ICPT)
  10. Y. Jinbo, K. M. Shyue, T. Sanada, M. Watanabe
    A Remark on Gas Flow Surrounding an Impacting Droplet on a Rigid Wall at a Very Early Stage of the Impact
    2nd Computational Mechanics Conference in Taiwan
  11. T. Sanada, E. Yamaguchi
    Impingement of a drop train against a closed end hole
    The 31st International Congress on High-speed Imaging and Photonics
  12. T. Sanada, E. Yamaguchi, S. Muraki
    Impingement of a drop train enhance the liquid infiltration into a closed end hole
    69th Annual Meeting of The APS Division of Fluid Dynaics => withdrawal

国内会議

  1. 山本翔也，真田俊之, 円形平板への液滴列衝突における跳水現象の観察， 混相流シンポジウム2016.
  2. 山口えり，真田俊之, 液柱および液滴列の衝突による微細孔への液体侵入特性， 混相流シンポジウム2016.
  3. 西尾賢哉，真田俊之，濵田聡美，檜山浩國，福永明， 偏光板と全反射接触顕微鏡を用いた固気液三相界面の観察， 日本機械学会第94期流体工学部門講演会.
  4. 徳田絵夢，真田俊之，岩田太，高東智佳子，檜山浩国，福永明 液体中での表面微粒子の付着力測定とその剥離過程の可視化， 日本機械学会第94期流体工学部門講演会.
  5. 笠井雄真，真田俊之, 各種液体中での音波と弾性管を用いた気泡発生制御， 日本機械学会第94期流体工学部門講演会.
  6. 山本翔也，真田俊之, 円形平板への液滴列衝突における形成液膜の観察， 日本機械学会第94期流体工学部門講演会.

その他

  1. 真田俊之，「分散性混相流の微細構造解明と洗浄技術への応用」，超領域研究会（6/30）Link
  2. 真田研究室，「液滴列制御、微細パターンへの液体侵入特性」，総合洗浄展展示（ウォータージェット学会ブース）（10/19-10/21）
  3. 真田俊之，「高付着力洗浄サンプルの作成とウェット洗浄による評価」，総合洗浄展ワークショップ（10/21）
  4. T. Sanada，「Droplet impact -complicated physics and its application for cleaning technique-」,6th Shizuoka University International Symposium 2016（12/9）

2015年度

原著論文

  1. T. Sanada, M. Watanabe
    "Photoresist and Thin Metal Film Removal by Steam and Water Mixed Spray"
    Journal of Photopolymer Science and Technology, Vol. 28, No. 2, 289-292, (2015). Link
  2. Y. Tatekura, T. Fujikawa, Y. Jinbo, T. Sanada, K. Kobayashi, and M. Watanabe
    "Observation of Water-Droplet Impacts with Velocities of O(10 m/s) and Subsequent Flow Field"
    ECS Journal of Solid State Science and Technology, 4(9) N117-N123 (2015). Link
  3. H. Kusuno, T. Sanada
    "An experimental investigation on the motion of a pair of bubbles at intermediate Reynolds numbers"
    Multiphase Science and Technology, Vol. 27, No. 1, 51-66, (2015). Link
  4. 楠野宏明，真田俊之
    "静止液体中を上昇する2気泡の相互作用に及ぼす界面活性剤の影響
    混相流，29巻5号, 515-522 (2016). Link
  5. 笠井雄真，楠野宏明，真田俊之
    "気体圧力変動を用いた気泡発生制御法における導管長さ及び境界条件の影響
    混相流，29巻5号, 509-514 (2016). Link
  6. K. Kobayashi, K. Konno, H. Yaguchi, H. Fujii, T. Sanada, M. Watanabe
    "Early stage of nanodroplet impact on solid wall"
    Physics of Fluids, 28, 032001 (2016). Link

解説論文

  1. 真田俊之
    "トピックス，電子線励起アシストによる超高分解能顕微鏡観察"
    ぶんせき，5月号, 208, (2015) Link
  2. 真田俊之，渡部正夫
    "流体物理洗浄（1）基本概念と微粒子の付着力"
    ケミカルタイムズ，236, 17-23, (2015) Link
  3. 真田俊之，渡部正夫
    "流体物理洗浄（2）超音波洗浄"
    ケミカルタイムズ，237, 8-13, (2015) Link
  4. 真田俊之，渡部正夫
    "流体物理洗浄（3）ジェット洗浄、ブラシ洗浄、その他"
    ケミカルタイムズ，238, 16-21, (2015). Link
  5. 野崎紘史，真田俊之
    "先端を封じた円管内への圧力による液体侵入特性"
    油空圧技術，Vol.54 No.13, 34-38, (2015). Link

国際会議

  1. Y. Jinbo, K. Kobayashi, M. Watanabe, T. Sanada
    Numerical simulation of compressible two-phase flows in high-speed impingement of a hollow droplet on a solid wall
    EMN meeting on droplets
  2. T. Sanada
    Bubble generation control using pulsed acoustic pressure waves in gas phase (Keynote lecture)
    9th International Symposium on Measurement Techniques for Multiphase Flows(9th ISMTMF).
  3. E. Tokuda, T. Sanada
    Measurement of particle adhesion force and its removal rate by PVA brush scrubing and droplet train impact
    9th International Symposium on Measurement Techniques for Multiphase Flows(9th ISMTMF) Best Presentation Award.
  4. H. Nozaki, T. Sanada
    Liquid infiltration characteristics of closed end tubes of millimeter size
    9th International Symposium on Measurement Techniques for Multiphase Flows(9th ISMTMF).
  5. S. Miwa, T. Sanada
    Generation of monodispersed droplet train by using capillary tube oscillation
    9th International Symposium on Measurement Techniques for Multiphase Flows(9th ISMTMF).
  6. Y. Kasai, T. Sanada
    Effects of tube length and boundary condition on the bubble generation method using acoustic pressure wave in gas phase
    9th International Symposium on Measurement Techniques for Multiphase Flows(9th ISMTMF).
  7. K. Nishio, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Normal force and behavior of containing water during the compression of PVA brush
    2015 International Conference on Planarization/CMP Technology (2015 ICPT).
  8. H. Kusuno, T. Sanada
    An experimental investigation on the motion of a pair bubbles at intermediate Reynolds numbers
    7th European-Japanese Two-Phase Flow Group Meeting 2015 (7EJTPFGM2015).
  9. H. Kusuno, T. Sanada
    Experimental study on the motion of a pair of bubbles in quiescent liquids
    APS/DFD2015(Poster)
  10. T. Sanada, H. Kusuno
    Approaching behavior of a pair of spherical bubbles in quiescent liquids
    APS/DFD2015

国内会議

  1. 真田俊之, 渡部正夫, 水蒸気と水の混合噴流による金属薄膜やレジスト膜の除去（招待講演）， フォトポリマーコンファレンス.
  2. 楠野宏明，真田俊之, 静止液体中を上昇する球形2気泡の挙動， 混相流シンポジウム2015.
  3. 三輪俊介，真田俊之, 微細管を用いた単分散液滴列の生成， 混相流シンポジウム2015.
  4. 笠井雄真，真田俊之, 気体圧力変動を用いた気泡発生制御法における導管長さ及び境界条件の影響， 混相流シンポジウム2015.
  5. 西尾賢哉，真田俊之, 檜山浩國，福永明 表面濡れ性の違いによるＰＶＡロールブラシの摩擦力と水のしみ出し挙動， 応用物理学会.
  6. 楠野宏明，真田俊之, 静止液体中における球形2気泡間の相互作用， 機械学会流体工学部門講演会.
  7. 野崎紘史，真田俊之, 先端を閉じたミリ及びマイクロスケール管内への液体侵入特性， 機械学会流体工学部門講演会.
  8. 徳田絵夢，真田俊之，岩田太, 高東智佳子，檜山浩國，福永明 洗浄用高付着力サンプルの作成とPVAブラシや液滴列による除去率評価， 機械学会関東支部講演会.
  9. 西尾賢哉，真田俊之, 浜田聡美，檜山浩國，福永明 洗浄液浸漬下におけるPVAロールブラシと各種膜付半導体ウェーハとの摩擦力測定， 機械学会関東支部講演会.
  10. 山口えり，野崎紘史，真田俊之 液滴衝突による微細構造への液体侵入特性， 機械学会関東支部講演会.
  11. 山口えり， 液柱および液滴列衝突による微細孔への液体浸入特性， 界面ナノ電子化学研究会第２回ポスター展.
  12. 西尾賢哉， 各種膜付半導体ウェーハのPVAロールブラシとの摩擦力測定， 界面ナノ電子化学研究会第２回ポスター展.

その他

  1. 真田研究室，「PVAブラシ洗浄、水蒸気と水の二流体洗浄、微細パターンへの液体侵入特性」，総合洗浄展展示（ウォータージェット学会ブース）（12/2-12/5）

2014年度

原著論文

  1. Y. Hara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    "Viscoelasticity behavior of PVA brush and its impact on friction: A Guideline for Nodule Configuration"
    Solid State Phenomena, Vol.219, 148-152 (2015). Link
  2. 橘純，真田俊之
    "気流と微細管を用いた液滴生成の制御：微細管先端での液柱もしくは液滴の生成条件
    混相流，29巻1号，42-49 (2015). Link
  3. 加藤昌也，渡部正夫，小林一道，真田俊之
    "低圧力環境下での高速液滴衝突により発生する液膜流れ
    混相流，28巻5号，531-537 (2015). Link
  4. K. Abe, T. Sanada
    "The mechanism of bubble generation using a slit elastic tube and an acoustic pressure wave in the gas phase"
    Chem. Eng. Sci., Vol.128, 28-35 (2015). Link
  5. Y. Hara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    "Effect of surface wettability on frictional conditions during scrubbing using polyvinyl acetal brushn"
    ECS Journal of Solid State Science and Technology, 4(5) P141-P148 (2015). Link

解説論文

  1. 真田俊之，渡部正夫
    "二流体ジェット法における気体種の影響"
    エアロゾル研究，29巻4号，236-240 (2014). Link

国際会議

  1. T. Sanada, Y. Hara, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Viscoelasticity behavior of PVA brush and its impact on friction
    19th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
  2. Y. Hara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Effect of viscoelasticity of PVA brush on friction during post- CMP cleaning: A guideline for nodule configuration
    12th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces(UCPSS2014) Student Paper Award
  3. K. Abe, T. Sanada
    A generation method of single bubbles of various sizes using a slitting elastic tube and acoustic pressure wave in gas phase
    2nd International Symposium on Multiscale Multiphase Process Engineering (MMPE)
  4. K. Nishio, Y. Hara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Measurements of Normal and friction forces during brush cleaning
    International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2014)
  5. T. Sanada, M. Shirota
    The relationship between steady drag and standing eddy on an ellipsoidal bubble with fore-aft asymmetry
    6th International Conference on Vortex Flows and Vortex Models(ICVFM Nagoya 2014)
  6. T. Sanada, K. Abe
    A generation method of single bubbles of various sizes using a slitting elastic tube and acoustic pressure wave
    APS/DFD 2014
  7. T. Sanada
    Generation, deformation, wake, and interaction of bubbles at intermediate Reynolds number
    IUTAM Symposium on Bubbly Flows 2015

国内会議

  1. 阿部公彦，真田俊之, 音波とスリット入り弾性管による気泡発生制御， 混相流シンポジウム2014.
  2. 橘純，真田俊之, 微細管先端での液滴もしくは液柱形成に及ぼす接触角および流量の影響， 混相流シンポジウム2014.
  3. 野崎紘史，真田俊之, 先端を封じた円管内への圧力による液体侵入特性， 混相流シンポジウム2014.
  4. 真田俊之，原義高，福永明，檜山浩國, PVAブラシ粘弾性と摩擦特性， 応用物理学会シンポジウム.
  5. 神保佳典，加藤昌也，小林一道，渡部正夫，真田俊之， 固体壁に高速衝突する液滴内部での気泡崩壊に関する数値解析， キャビテーションに関するシンポジウム
  6. 西尾賢哉，原義高，真田俊之，福永明，檜山浩國， PVAロールブラシの摩擦特性に及ぼす表面濡れ性の影響， 機械学会関東支部講演会
  7. 徳田絵夢， 高付着力サンプルの作製と物理洗浄による除去， 界面ナノ電子化学研究会第一回ポスター展
  8. 西尾賢哉， PVAブラシの粘弾性と摩擦特性， 界面ナノ電子化学研究会第一回ポスター展
  9. 野崎紘史， 先端を封じた細管内への液体侵入特性， 界面ナノ電子化学研究会第一回ポスター展

その他

  1. 真田俊之，「研究者の幸福学」，混相流学会若手夏期セミナー（7/30）
  2. 真田俊之，「流体物理洗浄-不純物の付着力と洗浄力-」，総合洗浄展（10/15）
  3. 真田俊之，「表面張力」，応用物理学会界面ナノ電子化学研究会インターラクティブセミナー（12/2）

2013年度

原著論文

  1. T. Fujiwara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    "Frictional analysis of PVA brush for post CMP cleaning"
    Solid State Phenomena, Vol.195, 213-216 (2013). Link
  2. T. Sanada, K. Abe
    "Generation of single bubbles of various sizes using a slitting elastic tube"
    Rev. Sci. Instrum., 84, 085106 (2013). Link

国際会議

  1. T. Sanada, T. Tanaka, A. Hayashida, M. Watanabe
    Removal of thin film by steam and water mixed spray (Poster)
    8th International Conference on Multiphase Flow (ICMF2013)
  2. T. Tanaka, K. Hashimoto, T. Sanada
    Effects of surface temperature change on thin film removal by steam and water mixed spray
    4th International Conference on Jets, Wakes and Separated Flows (The 4th ICJWSF)
  3. T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Influence of traverse speed and surface wettability on the friction of PVA brush for post CMP cleaning
    18th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
  4. Y. Hara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    The effect of surface wettability on the frictional condition for PVA roll brush
    13th International Symposium on Semiconductor Cleaning Science and Technology (SCST13) Link
  5. T. Sanada
    A Frictional Analysis of PVA Brush for Post CMP Cleaning (invited)
    SEMICON Korea SEMI Technology Symposiumu S5 Contamination-free Manufacturing and CMP Technology

国内会議

  1. 原義高，真田俊之，福永明，檜山浩國, PVAロールブラシの摩擦特性， 混相流シンポジウム2013.
  2. 阿部公彦，真田俊之, 音波と弾性管を用いた単一気泡発生制御， 混相流シンポジウム2013.
  3. 橘純，真田俊之, 気流と微細管を用いた液滴発生の制御， 混相流シンポジウム2013
  4. 西澤博貴，加藤昌也，植村亮一，小林一道，渡部正夫，真田俊之, 固体壁への液滴の衝突により発生するスプラッシュ形成過程の観察， 混相流シンポジウム2013.
  5. 真田俊之，原義高，福永明，檜山浩國, 洗浄用超親水性PVAブラシの摩擦特性， 日本機械学会年次大会.
  6. 真田俊之，原義高，福永明，檜山浩國, CMP後洗浄用PVAブラシの摩擦特性， 応用物理学会シンポジウム.
  7. 田中拓也，真田俊之, 空気を用いた非接触微小粒子除去における流量及び対象物振動の影響， 第91期 日本機械学会流体工学部門 講演会.
  8. 鈴木良典，真田俊之， 先端を封じた細管内の液体浸入特性， 第91期 日本機械学会流体工学部門 講演会.

その他

  1. 真田俊之，「流体物理洗浄技術の最新動向」，Electronic Journal 第1801回 Technical Seminar，半導体洗浄・乾燥技術の最新動向（7/25）
  2. 真田俊之，「半導体製造工程における洗浄技術と流体工学」，GESLワークショップ，慶応義塾大学（10/18）

2012年度

原著論文

  1. T. Mashiko, T. Sanada, I. Nishiyama, H. Horibe
    "A Parametric study on the physical action of steam-water mixture jet :Removal of photoresist film from silicon surfaces"
    J. J. Appl. Phys., Vol. 51, 067101 (2012). Link
  2. 真田俊之，橋本健太郎，林田充司，小林一道，渡部正夫
    "水蒸気と水の混合噴流による表面薄膜はく離（アルミニウム蒸着膜のはく離特性と表面温度変化の影響）"
    混相流，26巻2号，172-177 (2012). Link
  3. 櫻井泰貴，小林一道，藤川秀俊，真田俊之，渡部正夫
    "固体表面に衝突する単一液滴変形過程の観察（液滴物性，対象物表面粗さ及び周囲気体圧力の影響）"
    混相流，26巻2号，164-171 (2012). Link
  4. T. Sanada, K. Ando, T. Colonius
    "Effects of Target Compliance on a High-Speed Droplet Impacts"
    Solid State Phenomena, vol. 187, 137-140 (2012). Link
  5. T. Mashiko, T. Sanada, H. Horibe, I. Nishiyama, M. Watanabe, A. Hayashida
    "Measurement of Adhesion Force of Resist to Wafer by Using SAICAS: Characteristics of Lift-Off of Resist by Steam-Water Mixed Spray"
    Solid State Phenomena, vol. 187, 85-88 (2012). Link
  6. M. Watanabe, T. Sanada, T. Mashiko, A. Hayashida
    "Order Estimation of Physical Processes in Dynamics of Steam-Water Mixed Spray Cleaning Technique"
    Solid State Phenomena, vol. 187, 141-144 (2012). Link

解説論文

  1. 真田俊之，小林一道，林田充司
    "流体物理洗浄の概要と水蒸気二流体ジェットでの適用例"
    産業洗浄，第10号.

国際会議

  1. T. Sanada
    Drag force on a single bubble (Keynote lecture)
    20th INTERNATIONAL CONGRESS OF CHEMICAL AND PROCESS ENGINEERING (CHISA 2012)
  2. T. Sanada, M. Shirota
    On the drag coefficient for an ellipsoidal bubble with fore-aft asymmetry (Poster)
    20th INTERNATIONAL CONGRESS OF CHEMICAL AND PROCESS ENGINEERING (CHISA 2012)
  3. T. Fujiwara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    Frictional analysis of PVA brush for post CMP cleaning: Effects of rotation speed, compression distance, and fluid viscosity (Poster)
    11th International Symposium on ULTRA CLEAN PROCESSING OF SEMICONDUCTOR SURFACES (UCPSS2012)
  4. T. Sanada, M. Watanabe, K. Kobayashi
    Innovative ultra-low environmental load cleaning method using steam-water mixed spray: I Macro-scase approach
    6th Japanese-European Two-Phase Flow Group Meeing
  5. M. Watanabe, K. Kobayashi, T. Sanada
    Innovative ultra-low environmental load cleaning method using steam-water mixed spray: II Micro-scase approach
    6th Japanese-European Two-Phase Flow Group Meeing

国内会議

  1. 真田俊之，橋本健太郎， 水蒸気と水の混合噴流による表面アルミニウム薄膜はく離， 日本混相流学会年会講演会2012
  2. 植村亮一，小林一道，藤川俊秀，真田俊之，渡部正夫， 固体表面に高速衝突する液滴におけるスプラッシュの観察， 日本混相流学会年会講演会2012
  3. 真田俊之， 界面ナノ電子化学研究会の現在と未来， 第73回応用物理学会学術講演会シンポジウム

その他

  1. 真田俊之，「流体物理洗浄技術の最新動向★徹底解説」，電子ジャーナルセミナー（5/11）
  2. 真田俊之，「洗浄力定量化と可能性の追求 ～水蒸気・水混合噴流洗浄法へのマクロスケールアプローチ～」，日本混相流学会 サステナブル異分野融合型混相流研究分科会 第1回特別講演会（5/25）
  3. 真田俊之，「洗浄の不思議」，サイエンスカフェ（5/31）
  4. 真田俊之，「水蒸気と水の混合噴流による表面洗浄」，計算粉体力学研究会（7/31）
  5. 真田俊之，「流体物理洗浄の概要と水蒸気二流体ジェットでの適用例」，総合洗浄展（10/18）

2011年度

原著論文

  1. T. Sanada, K. Ando, T. Colonius
    "A computational study of high-speed droplet impact"
    Fluid Dynamics & Materials Processing, vol.7, no.4, pp.329-340 (2011). Link
  2. 益子岳史，真田俊之，橋本健太郎，堀邊英夫，林田充司，渡部正夫
    "水蒸気・水混合噴流の物理的作用の実験的評価"
    混相流，24巻5号，703-709 (2011). Link
  3. 城田農，佐藤文香，真田俊之，渡部正夫
    "気泡後部トロイダル渦の抗力への寄与"
    混相流，24巻5号，531-537 (2011). Link
  4. 真田俊之，城田農，横嶋哲，高木周
    "前後非対称な楕円形状を有する気泡に働く抗力"
    混相流，24巻5号，523-530 (2011). Link

解説論文

  1. 真田俊之，渡部正夫，関映子，林田充司
    "水蒸気と水の混合噴流による洗浄技術"
    砥粒加工学会誌，第55巻，第11号，640-643.

国際会議

  1. T. Sanada, K. Hashimoto, A. Hayashida, M. Watanabe, Observation of Removal Process of Thin Metal Film on Glass Surface by Steam-Water Mixed Spray: Application to Au Film Removal in LED Manufacturing, ECS2011
  2. H. Fujikawa, Y. Tatekura, K. Kobayashi, T. Sanada, A. Hayashida, M. Watanabe, High-Speed Droplet Impact as an Elementary Process of Physical Cleaning, ECS2011
  3. M. Watanabe, A. Sato, M. Shirota, T. Sanada, Modeling of a single clean bubble bouncing on a free surface, 64th Annual Meeting of the APS Division of Fluid Dynamics
  4. T. Mashiko, T. Sanada, I. Nishiyama, H. Horibe, Removal of resist film from wafer surface by steam-water mixture jet, 64th Annual Meeting of the APS Division of Fluid Dynamics

国内会議

  1. 橋本健太郎，真田俊之，益子岳史，堀邊英夫， 水蒸気と水の混合噴流によるレジスト剥離と物理力評価， 日本混相流学会年会講演会2011
  2. 櫻井泰貴，藤川俊秀，渡部正夫，真田俊之，小林一道，藤川重雄， 固体表面に衝突する単一液滴の変形挙動の観察， 日本混相流学会年会講演会2011
  3. 真田俊之，益子岳史，橋本健太郎，堀邊英夫， 水蒸気と水の混合噴流によるレジスト剥離 日本機械学会2011年度年次大会
  4. 真田俊之，城田農， 単一楕円気泡に働く定在抗力 日本流体力学会
  5. 真田俊之，益子岳史，橋本健太郎，堀邊英夫， レジスト膜の機械的強度測定と蒸気二流体による剥離 応用物理学会，シンポジウム

その他

  1. 真田俊之，「流体物理洗浄技術★徹底解説」，電子ジャーナルセミナー（5/13）
  2. 真田俊之，気液固分散工学サロン，「メゾスケールでの気泡挙動モデリング」．

2010年度

原著論文

  1. A. Sato, M. Shirota, T. Sanada, M. Watanabe
    "Modeling of bouncing of a single clean bubble on a free surface"
    Physics of Fluids, 23, 013307, (2011). Link
  2. K. Ando, T. Sanada, K. Inaba, J. S. Damazo, J. E. Shepherd, T. Colonius, C. E. Brennen
    "Shock propagation through a bubbly liquid in a deformable tube"
    Journal of Fluid Mechanics, 671, 339-363 (2011). Link
  3. T. Sanada, Y. Mitsuhashi, H. Mizutani and T. Saito
    "Flow structure of steam-water mixed spray",
    Nuclear Engineering and Design, vol.240, 3974-3983 (2010). Link

国際会議

  1. K. Ando, T. Sanada, K. Inaba, J. E. Shepherd, T. Colonius and C. E. Brennen, Shock propagation through a bubbly liquid in a deformable tube, 4th Southern California Symposium on Flow Physics, Irvine, CA, USA.
  2. T. Sanada, K. Ando and T. Colonius, Numerical analysis of high speed droplet impact, 7th International Conference on Multiphase Flow,Tampa, USA.
  3. K. Ando, T. Sanada, K. Inaba, J. E. Shepherd, T. Colonius and C. E. Brennen, Shock Theory of a Bubbly Liquid Filled in a Deformable Tube, 7th International Conference on Multiphase Flow,Tampa, USA.
  4. P. Stanovsky, M. C. Ruzicka, J. Drahoš, T. Sanada and M. Watanaber, Lateral Stability of a Bubble Chain, 7th International Conference on Multiphase Flow, Tampa, USA. (Poster)
  5. K. Hashimoto, T. Sanada, T. Mashiko and H. Horibe, Novolak Resist Removal by steam-water mixed spray, 11th Joint Symposium between Sister University in Mechanical Engineering (JSSUME2010), Korea.
  6. M. Watanabe, K. Kobayashi, T. Sanada, T. Mashiko, Ultra low environmental load cleaning technique using steam-water mixed spray, 8th Japan-UK Seminar on Multiphase Flows - Otaru 2010, Otaru, Japan.
  7. T. Sanada, K. Ando and T. Colonius, Effects of Target Compliance on a High-Speed Droplet Impact,10th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS2010)
  8. M. Watanabe, T. Sanada, T. Mashiko and A. Hayashida, Order Estimation of Physical Processes in Dynamics of Steam-Water Mixed Spray Cleaning Technique, 10th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS2010)
  9. T. Mashiko, T. Sanada, H. Horibe, I. Nishiyama, M. Watanabe, A. Hayashida, Measurement of adhesion force of resist to wafer by using SAICAS: Characteristics of lift-off of resit by steam-water mixed spray, 10th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS2010)
  10. H. Horibe, M. Yamamoto, T. Maruoka, Y. Goto, A. Kono, I. Nishiyama, T. Sanada, T. Mashiko, and S. Tagawa, Ion-implanted Resist Removal Using Atomic Hydrogen, Sixth International Conference on Hot-Wire Chemical vapor Deposition (Cat-CVD) Process.
  11. T. Sanada, M. Shirota, Drag force acting on an ellipsoidal bubble with fore-aft asymmetry, 63rd Annual Meeting of the APS Division of Fluid Dynamics, Long Beach, USA.

国内会議

  1. 佐藤文香，城田農，真田俊之，渡部正夫，自由界面での単一気泡反発のモデリング，日本混相流学会年会講演会2010（浜松）．
  2. 真田俊之，城田農，高木周，前後非対称な楕円形状を有する気泡に働く抗力，日本混相流学会年会講演会2010（浜松）．
  3. 城田農，佐藤文香，真田俊之，渡部正夫 気泡後部トロイダル渦の抗力への寄与，日本混相流学会年会講演会2010（浜松）．
  4. 真田俊之，安藤景太，Tim Colonius，高速液滴衝突過程の数値解析，日本混相流学会年会講演会2010（浜松）．
  5. 益子岳史，林田充司，真田俊之，渡部正夫，水蒸気・水混合噴流の物理力の実験的評価，日本混相流学会年会講演会2010（浜松）．
  6. 渡部正夫，真田俊之，益子岳史，関映子，林田充司，水蒸気・水混合噴流低環境負荷洗浄法によるドライエッチング残渣除去，混相流学会年会講演会2010（浜松）．

その他

  1. 真田俊之，気液固分散工学サロン，「メゾスケールでの気泡挙動モデリング」，会議が中止になりました．
  2. 真田俊之，NICEシンポジウム，「蒸気二流体によるレジスト除去」，会議が中止になりました．
  3. 真田俊之，JICC洗浄技術フォーラム2010，特別講演「物理洗浄による洗浄剤削減の試み」
  4. 真田俊之，第2回SAICAS研究会，「物理洗浄によるレジスト膜除去法とSAICASによる剥離物の評価」
  5. 真田俊之，Electronic Journal 第259回 Technical Symposium，電子ジャーナル，基調講演「水蒸気と水の混合噴流による洗浄技術」
  6. 真田俊之，界面ナノ電子化学研究グループセミナー（応用物理学会研究会NICE）「物理洗浄概説と蒸気2流体への応用〜流体力学的観点から〜」
  7. 真田俊之，日本混相流学会学生会セミナー，「カリフォルニア工科大学滞在記」
  8. 真田俊之，浜松工業会神戸支部総会，研究紹介「水蒸気と水の混合噴流による洗浄技術の開発」
  9. 真田俊之，「薬液を使用しない洗浄技術★徹底解説」，電子ジャーナルセミナー
  10. 真田俊之，「洗浄技術の新展開（薬液を使用しない低環境負荷型の洗浄技術の実用化）」，平成２１年度第７回研究フォーラム，静岡大学創造科学技術大学院

過去

真田個人のWebページを参照下さい。