Vacuum chamber/pump

Vacuum chamber
・Φ700x1400
・Φ500x1000
・100x100x100：4台
Vacuum pump
・Rotary/Mechanical booster：1200m3/h, 300m3/h
・Rotary：3台
・Scrolll：1台
・Butterfly：1台
・Diffusion：3台
・Turbo-molecular：1台

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Laser

Pulse lasers
・Dye laser：0.06cm-1
・YAG laser：450mJ@532nm
CW lasers
・High power diode laser：4.4kW, 1.1kW
・Fiber laser：1kW
・CO2 laser：850mW
・ECDL：810-840nm
・Diode laser for laser diagnostics
・He Ne laser

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Plasma generators

DC power
・DC for arc discharge：7.5kW
・DC for glow discharge：1kV
・Xenon lump：500W
AC power
・ICP：1.1kW@13.56MHz, 200W@13.56MHz
・Microwave：1kW@2.45GHz
・ECR microwave：30W@2.45GHz
・Low frequency amp for sonoluminescence：200W

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Measurement tools

Spectrometer
・VUV spectrometer＋PMT：115-320nm, resolution0.1nm
・Imaging spectrometer＋ICCD：resolution 0.07nm
・CCD Spectrometer：relosution 0.7nm
High-speed camera
・Sony RX100M4：960fps
Oscilloscopes
・Keysight：1GHz、200MHz
・Tektronix：100MHz
Recorder
・Yokogawa：DL850、DL750

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