文部科学省（旧文部省）科学研究費補助金（科研費）実績（研究代表者のみを記す）

1. Ｈ４　　　奨励Ａ　　　　スリットパターンレーザ光とボールミラーを用いた空間座標位置計測（単独）
2. Ｈ５　　　奨励Ａ　　　　マイクロマシン用制御給電システムに関する基礎的研究（単独）
3. Ｈ６　　　奨励Ａ　　　　スクイーズ膜効果を用いたアクティブエアスピンドルの研究（単独）
4. Ｈ７　　　奨励Ａ　　　　超精密メカニズムの最適化デザインに関する研究（単独）
5. Ｈ９〜10　奨励Ａ　　　　パラレルメカニズムを用いた三次元座標測定システムに関する研究（単独）
6. Ｈ11〜12　基盤Ｃ一般　　ﾊﾟﾗﾚﾙﾒｶﾆｽﾞﾑを用いたﾏｲｸﾛﾒｶﾆｽﾞﾑ用超小型三次元座標測定機（代表）
7. Ｈ12〜14　基盤Ｂ展開　　ﾏｲｸﾛﾏｼﾝﾊﾟｰﾂ用ﾊﾟﾗﾚﾙﾒｶﾆｽﾞﾑ型超小型ﾏｼﾆﾝｸﾞ・ﾒｼﾞｬﾘﾝｸﾞｾﾝﾀ（代表）
8. Ｈ13〜14　基盤Ｃ一般　　ﾊﾟﾗﾚﾙﾒｶﾆｽﾞﾑにおけるｼﾞｮｲﾝﾄ回転誤差・熱変位補正ﾌｨｰﾄﾞﾊﾞｯｸｼｽﾃﾑ（単独）
9. Ｈ16〜18　基盤Ｂ一般　　ﾜｰｸ・ﾂｰﾙ間の6自由度完全相対運動を実現するﾅﾉﾒｰﾄﾙ精度超精密機械の創成（単独）
10. Ｈ23〜26　基盤Ｂ一般　　ﾜｰｸと工具間の6自由度相対運動計測と補正フィードバック超精密機械システム（代表）
11. Ｈ23〜24　挑戦萌芽　　　表面弾性波の周期性を用いた直線・曲面変位および回転角度計測用デジタル式エンコーダ（代表）
12. Ｈ29〜31　基盤Ｃ一般　　追尾式レーザ干渉測長器による6自由度相対運動計測・補正に基づく超精密機械システム（代表）
13. Ｒ３〜５　基盤Ｃ一般　　円筒面ターゲットと光てこによる５自由度微小運動計測用センサシステムの高感度化（代表）