研究室で試作したエアベアリング試作機の歴史

回転型試作１号機（2000年3月）
円すい面（１面）型．

回転型試作２号機（2001年3月）
円すい２面型．制御なし．
軸方向非繰り返し回転誤差（NRRO）：0.15μｍ3σ，
半径方向NRRO：3.6μｍ3σ．

回転型試作３号機（2003年3月頃）
円筒型振動方向変換体使用．軸方向回転誤差補正．
軸方向RRO：0.232μｍp-p--->0.118μｍp-p．軸方向NRRO：0.03～0.06μｍ3σ．
半径方向RRO：1.03μｍp-p--->0.957μｍp-p．半径方向NRRO：0.06～0.08μｍ3σ．