パラレルＣＭＭ試作機の歴史

試作１号機（1996年秋頃）
写真三脚用すべり直動・回転軸受使用．ＡＣサーボモータ．転造ネジ＋ベベルギヤ駆動．位置決め分解能0.001mm．

試作２号機（1997年秋頃）
１号機を８面体トラスフレームに搭載．タッチプローブに電気マイクロ（ファインプリューフ）使用．

試作３号機（1998年3月頃）
ソニー製レーザースケール（分解能50nm）搭載．転造ボールネジ駆動．

試作３号機＋除振台（1999年3月頃）
３号機を空気ばね式除振台上に設置．トラスフレーム部材はチャンネル材から各パイプへ．

試作３号機＋除振台+三角柱型フレーム（2000年9月頃）
３号機の８面体トラスフレームを三角柱形５面体トラスフレームに．恒温チャンバー内に設置．

試作３号機＋除振台+三角柱型フレーム（2001年12月頃）
３号機にジョイント変形補正装置とフレーム変形補正装置を追加

試作３号機＋除振台+三角柱型フレーム（2003年2月頃）
フレーム変形補正装置を改良．