大岩研究室研究テーマ

ナノ(10-9)オーダ運動精度を持つメカニズムを目指して

現在,「ナノテク」により精緻なものを作る技術が確立されつつありますが,人類の生活に必要な1cm〜1m程度の大きさの部品をnmオーダの精度(相対不確かさ:10-9)で加工や計測を行うための手法は開発途上にあります.このような精密な加工機や測定機を実現するためには,正確に運動し高剛性なメカニズムが必要となりますが,現実には機械要素の運動誤差や内・外乱(力・振動・熱)などのために,運動精度の向上は困難になってきています.本研究室では,アッベの原理に代表される精密機械の基本原理を遵守しつつ適切な計測制御技術を応用することにより,6自由度完全相対運動を実現させるためのメカニズムの研究を行っています.


図 代表的なパラレルマニピュレータの一つであるヘキサポッド機構です.
6方向(並進3方向と回転3方向)に制御(駆動+計測)できます.


現在行っている研究

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ワーク・ツール間の6自由度完全相対運動を目指した超精密機械の開発

6自由度相対運動をパラレルメカニズムを用いてインプロセス計測し
機械の運動を補正する新しい概念の機械を創製します.
2004〜

パラレルCMM(次世代三次元座標測定機)

リンクを並列(パラレル)に配したパラレルメカニズムを用いて,
三次元座標測定機(CMM)に用いる研究を行っています.
1995〜

パラレルメカニズムの高精度化に関する研究

リンクを並列(パラレル)に配したパラレルメカニズムを使って
超精密な運動機構を実現させる研究を行っています.
1996〜

レーザ光追尾式トラッカの研究

2自由度パラレルメカニズムを用いたレーザ光追尾式の座標計測システム(レーザトラッカ)の研究を行っています.
2017〜

光ファイバを用いた3Dタッチトリガープローブの研究

新しい原理による,高い分解能と固有振動数を持つ
触針センサの基礎的な研究を行っています.
1998〜


以前に行っていた研究

トグル機構と電磁アクチュエータを用いた高速・高分解能インチワームアクチュエータ

変位縮小機構の縮小率を可変とし,
高分解能と高速性を両立させます.
2011〜2020

超音波振動を用いたリニアボールガイドの摩擦力制御

高精度・高速な位置決めを実現するため,
摩擦力を増減させる研究を行っています.
2005〜2020

超音波振動を用いたキネマティックジョイントの位置決め再現性の向上

精密機械部品の位置決めに用いられている
6点拘束のケルビンクランプの位置決め再現性を向上させます
2011〜2016

弾性表面波を用いた直線・曲面用デジタル変位計

2011〜2014

超音波振動を用いた歯車歯面の摩擦低減

2009〜2011

超音波振動を用いたアクティブエアベアリングの研究

1995〜2006

パラレルメカニズム型マイクロCMMの研究

1995〜2003

精密機構に用いられる弾性ヒンジに関する研究

1995〜1999

圧電素子を用いた高剛性6自由度微動機構

1991〜1995

歯車偏心誤差のインプロセス計測に関する研究

1999

ボルト結合部の剛性向上に関する研究

1995〜1999

移動する荷重を支えるはりの摺動面形状の最適化設計

1996〜1997

マイクロマシンの制御・エネルギ供給に関する研究

1992〜1993

鋼球を用いた円筒形工作物支持法の研究
(ボールセンタの使い方)

1987〜1993

球面ミラーと線状レーザー光を用いた空間座標位置計測

1991〜1993



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